氧化铝陶瓷基片高效减薄和超光滑抛光加工研究
氧化铝陶瓷基片高效减薄和超光滑抛光加工研究
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
潘继生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陈建新;阎秋生;潘继生
