機能性酸化物膜作製に向けたガスアシスト液中成膜プロセス:CeO2膜とZnO膜の作製と特性評価
機能性酸化物膜作製に向けたガスアシスト液中成膜プロセス:CeO2膜とZnO膜の作製と特性評価
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用于制造功能性氧化物薄膜的气体辅助液相沉积工艺：CeO2 和 ZnO 薄膜的制备和表征
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松下伸広
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田雄太;松下伸広
