Diaphragm Buckling Control of Ultrasonic Microsensors Through Converse-Piezoelectric Stress for High Sensitivity
Diaphragm Buckling Control of Ultrasonic Microsensors Through Converse-Piezoelectric Stress for High Sensitivity
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通过逆压电应力控制超声波微传感器的隔膜屈曲以获得高灵敏度
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Noda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yamashita;H. Tanaka;M. Noda
