Development of MEMS-based micro-force measurement system with zero-compliance mechanism
Development of MEMS-based micro-force measurement system with zero-compliance mechanism
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基于MEMS的零柔顺机构微力测量系统的开发
DOI：
10.1299/transjsme.21-00122
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
TAKASAKI Masaya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
MONJIYAMA Ryu;MIZUNO Takeshi;ISHINO Yuji;TAKASAKI Masaya
