Triaxial force measurement cantilever by sidewall-doping with rapid thermal diffusion
Triaxial force measurement cantilever by sidewall-doping with rapid thermal diffusion
复制标题
快速热扩散侧壁掺杂三轴力测量悬臂梁
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Isao Shimoyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuichiro Aoyama;Nguyen Binh-Khiem;Kentaro Noda;Yusuke Takei;Tetsuo Kan;Eiji Iwase;Kiyoshi Matsumoto;Isao Shimoyama
