真空容器内での光学素子の汚染現象とその対策
真空容器内での光学素子の汚染現象とその対策
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真空容器内光学元件的污染现象及对策
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
疇地宏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
實野孝久;村上英利;川崎鉄次;本越伸二,三上勝大;宮永憲明;疇地宏
