S.Takahashi,T.Miyoshi,Y.Takaya,R.Nakajima: "Nano-Defects Detection of Si Wafer Surface Using Evanescent Light -Computer Simulation by Means of FDTD Method"Proceedings of the 2rd euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology. (掲載
S.Takahashi,T.Miyoshi,Y.Takaya,R.Nakajima: "Nano-Defects Detection of Si Wafer Surface Using Evanescent Light -Computer Simulation by Means of FDTD Method"Proceedings of the 2rd euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology. (掲載
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S. Takahashi、T. Miyoshi、Y. Takaya、R. Nakajima：“利用渐逝光进行硅晶圆表面的纳米缺陷检测 - 通过 FDTD 方法进行计算机模拟”第二届 euspen 纳米技术制造和计量专题会议论文集.（发布
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