Novel fabrication method for Si1-xTixO2 thin films with graded composition profiles by liquid phase deposition

Novel fabrication method for Si1-xTixO2 thin films with graded composition profiles by liquid phase deposition
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通过液相沉积制备具有梯度成分分布的 Si1-xTixO2 薄膜的新方法

DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Kajinami
A. Kajinami
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
S. Deki;S. Iizuka;K. Akamatsu;M. Mizuhata;A. Kajinami

文献摘要

被引文献

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一种直接合成Si1 − xTixO2的新技术 已经在水溶液中研究了具有梯度组成分布的薄膜， 其中（NH4）2SiF6溶液 加入到（NH4）2TiF6 在时间和速率受控的反应条件下的主溶液： 成功地控制了薄膜厚度方向上的薄膜厚度 在很大范围内使用这种技术。
A novel technique for the direct synthesis of Si1 − xTixO2 thin films with graded composition profiles has been studied in aqueous solution, in which the (NH4)2SiF6 solutions were added into the (NH4)2TiF6 master solution under time- and rate-controlled reaction conditions: the composition of the films in the direction of the film thickness was successfully controlled over a wide range by this technique.