シルセスキオキサン薄膜の耐原子状酸素特性評価
シルセスキオキサン薄膜の耐原子状酸素特性評価
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倍半硅氧烷薄膜的抗原子氧性能评价
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木本 雄吾
中科院分区：
文献类型：
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作者：
行松 和輝;後藤 亜希;横山 創一;家 裕隆;木本 雄吾
