A Dependence of Crystallinity of In_2O_3 Thin Films by a Two-Step Heat Treatment of Indium Films on the Heating Atmosphere
A Dependence of Crystallinity of In_2O_3 Thin Films by a Two-Step Heat Treatment of Indium Films on the Heating Atmosphere
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铟膜两步热处理制备的In_2O_3薄膜结晶度对加热气氛的依赖性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hirotoshi Hatori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuichi Sato;Fumito Otake;Hirotoshi Hatori
