Influence of RF PACVD process parameters of diamond-like carbon films on optical properties and nano-hardness of the films
Influence of RF PACVD process parameters of diamond-like carbon films on optical properties and nano-hardness of the films
复制标题
DOI：
10.1016/j.diamond.2008.01.111
复制
发表时间：
2008-07
影响因子：
4.1
通讯作者：
M. Śmietana;J. Szmidt;M. Korwin-Pawlowski;N. Miller;A. Elmustafa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Śmietana;J. Szmidt;M. Korwin-Pawlowski;N. Miller;A. Elmustafa
