気相堆積重合によるポリイミド薄膜の形成とシリコン貫通配線への応用
気相堆積重合によるポリイミド薄膜の形成とシリコン貫通配線への応用
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通过气相沉积聚合形成聚酰亚胺薄膜并通过互连应用于硅
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小柳光正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福島誉史;マリアッパン ムルゲサン;裵志哲;李康旭;小柳光正
