AFM Observation of Deep Ultra-violet Irradiation Damage on Tetrahedral Amorphous Carbon Film
AFM Observation of Deep Ultra-violet Irradiation Damage on Tetrahedral Amorphous Carbon Film
复制标题
四面体非晶碳膜深紫外辐照损伤的AFM观察
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kozu;T.;Yamaguchi;M.;Kawaguchi;M.;Yoshimura;M.
