シリコン基板上への貫通した多孔質貴金属層の形成

シリコン基板上への貫通した多孔質貴金属層の形成
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在硅基底上形成穿透性多孔贵金属层

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
松坂拓
松坂拓
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Masahiko Shibahara;Kiyoshi Takeuchi;松坂拓

文献摘要

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