CH4-N2ガスによるマイクロ波励起高密度プラズマを用いた窒素含有炭素膜の合成
CH4-N2ガスによるマイクロ波励起高密度プラズマを用いた窒素含有炭素膜の合成
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利用 CH4-N2 气体微波激发高密度等离子体合成含氮碳膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原田泰典
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大平将寛;田中一平;原田泰典
