超精密位置決め装置における微小変位の挙動測定
超精密位置決め装置における微小変位の挙動測定
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超精密定位设备中微小位移行为的测量
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中淑晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福原彬真;赤木徹也;堂田周治郎;藤川敬広;田中淑晴
