S.Kamiya(M.Sato,M.Saka and H.Abe): "Residual stress distribution in the direction of the film normal in thin diamond films"Journal of Applied Physics. 86・1. 224-229 (1999)
S.Kamiya(M.Sato,M.Saka and H.Abe): "Residual stress distribution in the direction of the film normal in thin diamond films"Journal of Applied Physics. 86・1. 224-229 (1999)
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S. Kamiya（M. Sato、M. Saka 和 H. Abe）：“薄金刚石薄膜中薄膜法线方向的残余应力分布”《应用物理学杂志》86・1（1999 年）。
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