K.Yamadam, M.Morita, C.M.Soh, H.Suzuki, and T.Ohmi: "Low-Temperature Silicon Epitaxy Using Gas Molecular-Flow Preshowering" Journal of Electrochemical Society. 140. 371-377 (1993)
K.Yamadam, M.Morita, C.M.Soh, H.Suzuki, and T.Ohmi: "Low-Temperature Silicon Epitaxy Using Gas Molecular-Flow Preshowering" Journal of Electrochemical Society. 140. 371-377 (1993)
复制标题
K.Yamadam、M.Morita、C.M.Soh、H.Suzuki 和 T.Ohmi：“使用气体分子流预喷的低温硅外延”电化学学会杂志。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
