T. Watanabe: ""Atomic-Order Layer Growth of Silicon Nitride Films at Low Temperatures"," the 13th International Conference on Chemical Vapor Deposition. Vol. PV96-5. 504-509 (1996)
T. Watanabe: ""Atomic-Order Layer Growth of Silicon Nitride Films at Low Temperatures"," the 13th International Conference on Chemical Vapor Deposition. Vol. PV96-5. 504-509 (1996)
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T. Watanabe：“低温下氮化硅薄膜的原子级层生长”，第 13 届国际化学气相沉积会议。
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