窒化物薄膜の微細構造制御とラジカルを用いた低温での成膜方法
窒化物薄膜の微細構造制御とラジカルを用いた低温での成膜方法
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氮化物薄膜的微观结构控制和自由基低温成膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野矢 厚
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武山真弓;佐藤 勝;野矢 厚
