高調波プローブ法を用いたプラズマ曝露環境下の材料表面状態モニタリング
高調波プローブ法を用いたプラズマ曝露環境下の材料表面状態モニタリング
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使用谐波探针法监测等离子体暴露环境下的材料表面状况
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
占部 継一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
両角 潤樹;江利口 浩二;占部 継一郎
