S. Inoue: "Effects of argon and nitrogen partial pressure on internal strees, resistivity and structure of reactive aputlered TiN films"Proc. the 9th Intul. Conf. on production Eugineering, Osaka. 624-629 (1999)
S. Inoue: "Effects of argon and nitrogen partial pressure on internal strees, resistivity and structure of reactive aputlered TiN films"Proc. the 9th Intul. Conf. on production Eugineering, Osaka. 624-629 (1999)
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S. Inoue：“氩气和氮气分压对反应性 aputlered TiN 薄膜的内部应力、电阻率和结构的影响”Proc。
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