圧電マイクロ超音波センサ高感度化のための座屈ダイアフラムが出力波形に与える影響
圧電マイクロ超音波センサ高感度化のための座屈ダイアフラムが出力波形に与える影響
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弯曲隔膜对压电微超声波传感器更高灵敏度输出波形的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中島将太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hendra Adinanta;Hirotaka Kato;Takeo Maruyama;中島将太
