祖山 均 (熊野弘之,坂 真澄): "シリコンウェハに対するゲッタリングへのキャビテーション噴流の応用"第10回キャビテーションに関するシンポジウム講演論文集. 39-40 (1999)

祖山 均 (熊野弘之,坂 真澄): "シリコンウェハに対するゲッタリングへのキャビテーション噴流の応用"第10回キャビテーションに関するシンポジウム講演論文集. 39-40 (1999)
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Hitoshi Soyama(Hiroyuki Kumano、Masumi Saka):“空化射流在硅片吸杂中的应用”第 10 届空化研讨会论文集 39-40(1999 年)。

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