Electrical Detection of Failures of MEMS Electrostatic Microactuators for Test Circuit

Electrical Detection of Failures of MEMS Electrostatic Microactuators for Test Circuit
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测试电路MEMS静电微执行器故障的电气检测

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
IEEE 6th Latin-American Test Workshop(LATW)
影响因子：
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通讯作者：
Yoshio Mita et al.
Yoshio Mita et al.
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Benjamin Caillard;Yoshio Mita et al.

文献摘要

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