ArFエキシマレーザー光源用フッ化カルシウム単結晶チャンバウィンドウの使用環境下における複屈折解析
ArFエキシマレーザー光源用フッ化カルシウム単結晶チャンバウィンドウの使用環境下における複屈折解析
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ArF准分子激光光源氟化钙单晶腔窗在使用环境下的双折射分析
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
正田勲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
北村優太;宮崎則幸;熊崎貴仁;永倉直人;橋本健宏;正田勲
