Microstructure of epitaxial lateral overgrown AlN on trench-pattemed AlN template by high-temperature metal-organic vapour phase epitaxy
Microstructure of epitaxial lateral overgrown AlN on trench-pattemed AlN template by high-temperature metal-organic vapour phase epitaxy
复制标题
高温金属有机气相外延在沟槽图案 AlN 模板上外延横向生长 AlN 的微观结构
DOI:
--
复制
发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
A.Bandoh
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
M.Imura;K.Nakano;T.Kitano;N.Fujimoto;G.Narita;N.Okada;K.Balakrishnan;M.Iwaya;S.Kamiyama;H.Amano;I.Akasaki;T.Noro;T.Takagi;A.Bandoh