Microstructure of epitaxial lateral overgrown AlN on trench-pattemed AlN template by high-temperature metal-organic vapour phase epitaxy

Microstructure of epitaxial lateral overgrown AlN on trench-pattemed AlN template by high-temperature metal-organic vapour phase epitaxy
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高温金属有机气相外延在沟槽图案 AlN 模板上外延横向生长 AlN 的微观结构

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Applied Physics Letter, Vol.89
影响因子:
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通讯作者:
A.Bandoh
A.Bandoh
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M.Imura;K.Nakano;T.Kitano;N.Fujimoto;G.Narita;N.Okada;K.Balakrishnan;M.Iwaya;S.Kamiyama;H.Amano;I.Akasaki;T.Noro;T.Takagi;A.Bandoh

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