Shuji Tanaka: "Necessity of Straight Beam and Non-Contact Mask for Fabrication Process of Micro 3-D Stracture" Proc.of the International Symposium on Microsystems,Intelligent Materials and Robots. 59-62 (1995)
Shuji Tanaka: "Necessity of Straight Beam and Non-Contact Mask for Fabrication Process of Micro 3-D Stracture" Proc.of the International Symposium on Microsystems,Intelligent Materials and Robots. 59-62 (1995)
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Shuji Tanaka：“微3D结构制造过程中直梁和非接触掩模的必要性”微系统、智能材料和机器人国际研讨会论文集。
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