ゾル・ゲルPZT薄膜の応力制御による超音波マイクロセンサの高感度化ダイアフラムたわみ構造の形成
ゾル・ゲルPZT薄膜の応力制御による超音波マイクロセンサの高感度化ダイアフラムたわみ構造の形成
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溶胶-凝胶PZT薄膜应力控制形成超声微传感器高灵敏膜片偏转结构
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野田 実
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西海 太貴;荒井 開人;山下 馨;田中 光;野田 実
