Microstructures of ε-Ga2O3 thin films on (100) TiO2 substrate by mist chemical vapor deposition
Microstructures of ε-Ga2O3 thin films on (100) TiO2 substrate by mist chemical vapor deposition
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(100) TiO2 基底雾气化学气相沉积 ε-Ga2O3 薄膜的微观结构
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and M. Yoshimoto
中科院分区:
文献类型:
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作者:
D. Tahara;H. Nishinaka;Y. Arata;K. Shimazoe;and M. Yoshimoto