Temperature dependent growth of boron nitride film by surface wave assisted microwave plasma chemical vapor deposition method
Temperature dependent growth of boron nitride film by surface wave assisted microwave plasma chemical vapor deposition method
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表面波辅助微波等离子体化学气相沉积法随温度生长氮化硼薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshio Kawahara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Rupesh Singh;Golap Kalita;Masayoshi Umeno;Toshio Kawahara
