T.Fukuda, M.Takeyama and A.Noya: "Solid-phase reactions in polymorphic epitaxial contact systems of Al/YSi_<2-x>/Si" Jpn.J.Appl. Phys. 36, No.4A. 2319-2320 (1997)
T.Fukuda, M.Takeyama and A.Noya: "Solid-phase reactions in polymorphic epitaxial contact systems of Al/YSi_<2-x>/Si" Jpn.J.Appl. Phys. 36, No.4A. 2319-2320 (1997)
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T.Fukuda、M.Takeyama 和 A.Noya:“Al/YSi_<2-x>/Si 多晶型外延接触系统中的固相反应”Jpn.J.Appl。
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