物理気相成長法による超ナノ微結晶ダイヤモンド/アモルファスカーボン混相膜の作製とその半導体材料としての応用の検討
物理気相成長法による超ナノ微結晶ダイヤモンド/アモルファスカーボン混相膜の作製とその半導体材料としての応用の検討
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物理气相沉积法制备超纳米微晶金刚石/非晶碳混相薄膜及其半导体材料应用研究
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉武 剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Katamune;S. Ohmagari;H. Setoyama;K. Sumitani;Y. Hirai;and T. Yoshitake;片宗 優貴，大曲 新矢，吉武 剛;吉武 剛
