Optical MEMS and NEMS : Thin film micro/nano machining and integration
Optical MEMS and NEMS : Thin film micro/nano machining and integration
复制标题
光学MEMS和NEMS：薄膜微/纳米加工和集成
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Takahashi;Y.Kanamori;K.Hane;K.Hane
