鯉沼秀臣: Sputtering and Plasma Process. 3. 79-83 (1988)
鯉沼秀臣: Sputtering and Plasma Process. 3. 79-83 (1988)
复制标题
Hideomi Koinuma：溅射和等离子工艺。3. 79-83 (1988)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
