吉崎大輔,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲: "暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第2報)-高感度検出法の検討-"2001年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (発表予定). (2001)

Daisuke Yoshizaki、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi：“利用暗场环形光学系统进行硅晶片加工表面缺陷测量的研究（第2次报告）-高灵敏度检测方法的检验-”2001年精密工程学会论文集春季学术会议（预定报告）（2001）。