ガスフロースパッタ法における粒子の気相成長とガス流の関係に関する研究
ガスフロースパッタ法における粒子の気相成長とガス流の関係に関する研究
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气流溅射中颗粒气相生长与气流关系的研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐久間洋志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松本和真;中村修;石井清;佐久間洋志
