Defect selective etching of MOVPE grown AlN and HVPE grown bulk AlN substrates in a molten KOH/NaOH eutectic
Defect selective etching of MOVPE grown AlN and HVPE grown bulk AlN substrates in a molten KOH/NaOH eutectic
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在熔融 KOH/NaOH 共晶中对 MOVPE 生长的 AlN 和 HVPE 生长的块状 AlN 衬底进行缺陷选择性蚀刻
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Yoshinao Kumagai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mari Higuchi;Taro Mitsui;Toru Nagashima;Reo Yamamoto;Keita Konishi;Galia Pozina;Rafael Dalmau;Raoul Schlesser;Ramon Collazo;Bo Monemar;Zlatko Sitar;and Yoshinao Kumagai
