フェムト秒パルスレーザを用いた多結晶ダイヤモンドに対する平坦化加工技術

フェムト秒パルスレーザを用いた多結晶ダイヤモンドに対する平坦化加工技術
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飞秒脉冲激光多晶金刚石整平技术

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報
影响因子:
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通讯作者:
天本祥文
天本祥文
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
山本剛史;張宇;谷泰弘;川波多裕司;桐野宙治;天本祥文

文献摘要

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