微粒子エロージョンによる 硬質薄膜の耐衝撃・剥離性評価方法
微粒子エロージョンによる 硬質薄膜の耐衝撃・剥離性評価方法
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利用细颗粒侵蚀评价硬薄膜的抗冲击性和剥离性的方法
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮島敏郎・冨田直道・堀川教世・菓子貴晴・松原亨・勝俣力
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Uichi Nishizawa;Shigeki Toyama;Taro Oohashi;宮島敏郎・冨田直道・堀川教世・菓子貴晴・松原亨・勝俣力
