熱電特性評価に向けた絶縁膜上への多結晶BaSi2膜の成長

熱電特性評価に向けた絶縁膜上への多結晶BaSi2膜の成長
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用于热电性能评估的绝缘膜上多晶BaSi2薄膜的生长

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
末益 崇
末益 崇
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
吉田 竜一;小板橋嶺太;山下雄大;召田雅実;都甲 薫;末益 崇

文献摘要

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