ウェーハスピンコーティングにおけるウェーハ上のエクマン螺旋に関する研究(エクマン螺旋に及ぼす排気流れの影響)
ウェーハスピンコーティングにおけるウェーハ上のエクマン螺旋に関する研究(エクマン螺旋に及ぼす排気流れの影響)
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晶圆旋涂中晶圆上埃克曼螺旋的研究（废气流对埃克曼螺旋的影响）
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木村誠一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
谷野忠和;仲尾晋一郎;上林源樹;Seiichi KIMURA;Seiichi KIMURA;木村誠一
