ECRイオンスパッタ法を用いたTiNi形状記憶合金薄膜創製における最適条件の探索
ECRイオンスパッタ法を用いたTiNi形状記憶合金薄膜創製における最適条件の探索
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利用ECR离子溅射法寻找TiNi形状记忆合金薄膜制备的最佳条件
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
劉富剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木内啓太;槌谷和義;劉富剛
