先端三次元積層型 LSI の技 術動向と展望
先端三次元積層型 LSI の技 術動向と展望
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先进3D堆叠LSI的技术趋势和前景
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福島誉史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Tsumori;et al;福島誉史
