ヘリウム窒素混合ガスを用いたクライオプラズマ放電機構のガス温度依存性
ヘリウム窒素混合ガスを用いたクライオプラズマ放電機構のガス温度依存性
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使用氦氮混合气体的冷等离子体放电机制的气体温度依赖性
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
寺嶋 和夫
中科院分区:
文献类型:
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作者:
宗岡 均;占部 継一郎;シュタウス スヴェン;寺嶋 和夫