金属ゲートの仕事関数ばらつきによるFinFETのDIBLばらつきの解析
金属ゲートの仕事関数ばらつきによるFinFETのDIBLばらつきの解析
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由于金属栅极功函数变化导致的 FinFET DIBL 变化分析
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
昌原明植
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松川 貴;福田浩一;柳 永勛;遠藤和彦;塚田順一;山内洋美;石川由紀;大内真一;右田真司;水林 亘;森田行則;太田裕之;昌原明植
