Y.Kato: "Elimination of Metal-Sputtering Contamination in Ion Implanter for Low-Leakage-Current p-n Junction Formation" Extended Abstracts of the 1991 International Conference on Solid State Devices and Materials. 565-567 (1992)
Y.Kato: "Elimination of Metal-Sputtering Contamination in Ion Implanter for Low-Leakage-Current p-n Junction Formation" Extended Abstracts of the 1991 International Conference on Solid State Devices and Materials. 565-567 (1992)
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Y.Kato：“消除低漏电流 p-n 结形成离子注入机中的金属溅射污染”1991 年国际固态器件和材料会议的扩展摘要。
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