Simulation of Xe Barrier Discharges for Excimer Lamp - Effect of Higher Driving Frequency on Lamp Characteristics -

Simulation of Xe Barrier Discharges for Excimer Lamp - Effect of Higher Driving Frequency on Lamp Characteristics -
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准分子灯的 Xe 势垒放电模拟 - 较高驱动频率对灯特性的影响 -

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 / The 22nd Symposium on Plasma Processing
影响因子：
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通讯作者：
Y.Sakai
Y.Sakai
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
A.Oda;H.Akashi;Y.Sakai

文献摘要

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