3-D conical microchannel fabricated by wet etching using Ti/Au sacrificial layer
3-D conical microchannel fabricated by wet etching using Ti/Au sacrificial layer
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使用 Ti/Au 牺牲层通过湿法蚀刻制造 3D 锥形微通道
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Fumihito Arai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hirotaka Sugiura;Shinya Sakuma;Fumihito Arai
