ダメージ導入プロセスとその後の表面処理がSiC/SiO_2構造に与える影響
ダメージ導入プロセスとその後の表面処理がSiC/SiO_2構造に与える影響
复制标题
损伤引入工艺及后续表面处理对SiC/SiO_2结构的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
南園悠一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Nanen;M. Kato;J. Suda;T. Kimoto;南園悠一郎
